Электроника - Фотолитография - Extreme Ultraviolet Lithography, EUV, EUVL - FinFet EUV-литография - Фотолитография в глубоком ультрафиолете - вид фотолитографии в наноэлектронике - Optical Proximity Correction - Коррекция оптической близости 142 1
Infrared - ИК-излучение - Инфракрасное излучение 40 1