|
Поделиться
Поделиться
Ученые из США разработали экологически чистую технологию производства чипов
Ученые Национальной лаборатории Лос-Аламоса (США) разработали технологию, позволяющую сделать производство чипов экологически безопасным. Сейчас в среднем каждый завод в день выдает около 4 млн. галлонов отработанной воды и тысячи галлонов едких веществ.Новая технология, названная SCORR концентрируется на фоторезисторном переносе - процессе, при котором интенсивный свет вместе с агрессивными кислотами и едкими веществами создают микросхему, изменяя поверхность кремниевой подложки. Ученые лаборатории вместо едких материалов использовали диоксид углерода и тем самым сэкономили как на растворителях, так и на огромном количестве сверхчистой воды, которая используется для смывания этих растворителей. При определенной температуре и давлении газообразный диоксид углерода переходит в жидкое состояние, но при этом сохраняет некоторые свойства газа. Поэтому в комбинации с некоторыми другими растворителями он может использоваться для фоторезисторного переноса. После понижения температуры и давления вещество вновь переходит в газообразное состояние и, таким образом, микросхему не нужно очищать водой. Кроме того, диоксид углерода дешев, не токсичен, легко утилизируется, может использоваться несколько раз и доступен в больших количествах. Таким образом, технология фоторезисторного переноса, разработанная лабораторией, экологически безвредна - она представляет собой замкнутый процесс без каких-либо выбросов в атмосферу.
Короткая ссылка
