Applied Materials представила Compass - систему контроля кремниевых пластин для 0,10 микронного процесса

Компания Applied Materials Inc. представила первую в индустрии систему контроля кремниевых пластин для массового 0,10 микронного (100 нм) процесса. Система, получившая название Compass, выполнена на основе лазерной сканирующей технологии и использует шесть различных по направлению пучков излучения для более эффективного определения дефектов. Система Compass способна инспектировать до 60 пластин в час, что является довольно высокой скоростью.
По данным Dataquest, рынок установок для контроля кремниевых пластин в 1999 году оценивался в $440 млн. Как ожидается, к 2004 году эта цифра достигнет $960 млн.