Canon планирует увеличить объемы производства 200 мм/300 мм эксимерных лазерных сканеров

Компания Canon USA Inc. объявила, что ее подразделение Semiconductor Equipment Division паланирует начать широкомасштабное произхводство в 2001 году 200 мм и 300 мм эксимерных лазерных сканеров FPA-5000AS2 второго поколения. Представители Canon обьясняют расширение производства бурным ростом полупроводниковой промышленности и особым спросом на оборудование для литографии с производственными нормами допуска менее 0,13 микрон. Компания Canon намерена производить новые сканеры на фабрике по производству оптики Utsunomiya в Японии. Недавно Canon сделала инвестиции в этот завод для расширения производства оборудования для фотолитографии и производства ЖК-дисплеев. Дополнительно в префектуре Ибараки, Япония, строится завод по производству линз из флуорида кальция (CaF₂). Линзы из флуорида кальция заменят применяемые в настоящее время в 248 мм лазерах кварцевые линзы. Кварц уже не позволяет добиться приемлемых результатов при длине волны в 193 мм. Canon также расчитывает применять флуорид кальция в производстве линз для 157 нм литографических систем и намерена поддерживать дальнейшие разработки в этой области.