Разделы

Техника

Исследователи разработали методику изготовления сверхпроводниковых пленок NbTiN с оптимальными параметрами

Ученые из МФТИ и ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН определили условия получения сверхпроводящих пленок из нитрида ниобия титана с оптимальными свойствами: малой глубиной проникновения магнитного поля, высокой температурой перехода в сверхпроводящее состояние и высокой удельной проводимостью. Полученный результат поможет синтезировать высококачественные пленки для элементов устройств сверхпроводниковой электроники. Статья опубликована в журнале IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект № 23-79-00019). Об этом CNews сообщили представители МФТИ.

Основное преимущество сверхпроводниковых электронных устройств — в низком уровне «паразитных» собственных шумов. Малошумящие устройства можно использовать для изучения квантовых свойств частиц, обработки излучения от далеких объектов Вселенной или для исследования состава веществ. Популярные сверхпроводники — пленки из ниобия. Основным минусом таких пленок является тот факт, что их «максимальная» рабочая частота составляет 700 ГГц — она ограничена щелевой частотой ниобия. Если электрический сигнал, проходящий по сверхпроводнику, обладает большей частотой, куперовские пары — связанные электроны, ответственные за свойство сверхпроводимости — разрываются, что приводит к существенному (на два-три порядка) увеличению сопротивления пленок. Для наблюдения за туманностями и звездами или для мониторинга состава атмосферы по колебательным и вращательным спектрам молекул часто нужно уметь работать на частотах выше 1 ТГц, что почти в полтора раза больше, чем максимальная частота для ниобиевых пленок. Поэтому актуален поиск новых перспективных сверхпроводящих материалов и технологий их оптимального производства.

В Институте радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН методом магнетронного напыления исследователи изготовили пленки нитрида ниобия титана (NbTiN). Там же измерили их проводимость и критическую температуру при постоянном токе. Ученые МФТИ с помощью терагерцового спектрометра определили основные параметры этих пленок: температуру перехода в сверхпроводящее состояние, величину энергетической щели, глубину проникновения магнитного поля и проводимость.

Ранее японские коллеги проводили схожее исследование пленок нитрида ниобия и нитрида ниобия титана. Однако они работали с пленками существенно тоньше, чем необходимо для изготовления электродов сверхпроводниковых линий передачи сигнала в приемных устройствах ТГц-диапазона. Так как по мере увеличения толщины меняется структура пленок, то параметры образцов из одного материала, но с разными толщинами будут заметно отличаться. Важно отметить, что на практике толщина электродов выбирается больше, чем глубина проникновения магнитного поля; в противном случае потери в линии оказываются достаточно велики. Российские ученые изготовили и изучили сверхпроводящие пленки, максимально приближенные по всем параметрам к электродам сверхпроводниковых линий в реальных устройствах.

«Мы хотели определить оптимальные условия изготовления пленок, для этого меняли концентрацию азота в камере магнетрона. Эта концентрация определяет состав пленки и скорость ее роста, что отражается на свойствах. Мы нашли оптимальное значение, которое позволило, с одной стороны, получить пленку с достаточно небольшой глубиной проникновения магнитного поля, с другой стороны — достаточно высокую критическую температуру и проводимость», — сказал Федор Хан, научный сотрудник ИРЭ имени В. А. Котельникова.

Что делать, если инфраструктура не успевает за ростом бизнеса?
Маркет

Также исследователи применили различные модели для количественного описания свойств сверхпроводниковых пленок на терагерцовых частотах: стандартную модель Маттиса — Бардина, расширенную модель Циммермана (которая учитывает конечное время свободного пробега электронов, неизбежно присутствующих в сверхпроводниках при ненулевой температуре). Кроме того, ученые рассмотрели модель, учитывающую влияние магнитных примесей и структурных неоднородностей в пленках, из-за которых может происходить распад куперовских пар. Выяснилось, что уже модели Циммермана оказывается достаточно для неплохого количественного описания.

«Имеющееся в распоряжении лаборатории терагерцовой спектроскопии МФТИ спектроскопическое оборудование позволяет проводить детальное исследование особенностей сверхпроводящего состояния в тонких сверхпроводящих пленках, а также характеризовать на количественном уровне их основные электродинамические параметры на терагерцовых частотах. Последнее особенно важно для разработки приборов и устройств сверхпроводящей электроники следующих поколений», — отметила Елена Жукова, ведущий научный сотрудник лаборатории терагерцовой спектроскопии МФТИ.

Благодаря полученным результатам другие научные группы смогут воспроизводить пленки с оптимальными параметрами. Это ускорит разработку устройств сверхпроводниковой электроники.