Электроника Фотолитография Extreme Ultraviolet Lithography, EUV, EUVL FinFet EUV-литография Deep Ultraviolet, DUV Фотолитография в глубоком ультрафиолете Optical Proximity Correction Коррекция оптической близости

ТЦ». «Перед нами стоит задача запустить производство электронной компонентной базы мирового класса. Литограф ЗНТЦ предназначен для топологических норм до 350 нм, которые используются в силовой

динственный поставщик Институт закупает установку у единственного поставщика. Потребность в этом заказчик обосновывает тем, что поставщик хорошо себя зарекомендовал. Aiartgenerator РАН ищет китайский литограф «Из трех представленных коммерческих предложений компания ООО "Криотрейд инжиниринг" зарекомендовала себя надежным поставщиком, предложившим не только наименьшую цену, но и наиболее бы

, эти литографы будут пользоваться высоким спросом». На рынке есть широкий разброс цен, говорит Ольга Квашенкина, гендиректор холдинга SNDGLOBAL. По ее словам, самые передовые сканеры (ASML High-NA / EUV и даже старые иммерсионные платформы) стоят сотни миллионов долларов. Массовые DUV/stepper-решения у Nikon/Canon для 200-мм/300-мм линий дают производительность в сотни пластин в час и пози

Ученые МФТИ создали отечественный литограф для создания 3D-объектов с размерами элементов 150 нм и разрешением 350 нм. Разработанный литограф дешевле аналогичных иностранных приборов и не имеет коммерческих аналогов в Ро

одства Китай делает значительный шаг вперед в разработке технологий экстремальной ультрафиолетовой (EUV) литографии, которая долгое время оставалась прерогативой нидерландской компании ASML. Ка

го института науки и технологий (Okinawa Institute of Science and Technology, OIST, Япония) создали EUV-сканер особой конструкции, в которой гораздо меньше компонентов, недели в сканерах нидерл

инственный в мире производитель машин для литографии с использованием экстремального ультрафиолета (EUV). Такое оборудование применяется для выпуска чипов по современным техпроцессам. Этот «руб

раничения. Как отмечает Bloomberg, ASML также не смогла получить лицензии на поставку в Китай своих EUV-сканеров (EUV – экстремальная ультрафиолетовая литография). В необходимости ограни

рафию с использованием глубокого или экстремального ультрафиолета (Deep, Extreme ultraviolet – DUV, EUV), то новое творение Canon обходится вовсе без фотолитографии. Японцы отдали предпочтение

я плазмохимического травления кремния пригодится на втором. Фото: Laura Ockel / Unsplash Российская литография стала немного более современной Вторая установка использует в своей работе созданн

зе литографии так называемого глубокого ультрафиолетового спектра (Extreme Ultraviolet Lithography, EUV). Одновременно компания анонсировала планы по выпуску первых чипов по техпроцессу N5 с но

тнее сотрудничество в сфере литографии, включив в него процесс на основе литографической технологии EUV (фотолитография в глубоком ультрафиолете). Этот процесс будет использоваться для производ

Новый источник излучения для использования в системах литографии в дальнем ультрафиолете (Extreme UltraViolet Lithography, EUVL), разработан в университете штата Калифорния в г. Сан-Д

рференционной литографии обеспечила "нанолинейка", созданная двумя студентами MIT. Студенты использовали генератор акустических волн с частотой 100 МГц для управления лазерным излучением, формирующим литографический рисунок на поверхности кремниевой подложки, при этом система позволяла отклонять лазерный луч и менять частоту излучения при помощи нового алгоритма высокоточного определения фа

обного рабочего образца микросхемы, в которой первый слой металлических соединений создан с помощью EUV-литографии (литографии с использованием жесткого ультрафиолетового излучения). Предыдущие

обного рабочего образца микросхемы, в которой первый слой металлических соединений создан с помощью EUV-литографии (литографии с использованием жесткого ультрафиолетового излучения). Предыдущие

л Ник Кеплер (Nick Kepler), вице-президент по разработке технологий логики AMD. — Иммерсионная литография позволит нам обеспечить более четкое проектирование и большую стабильность парамет

л Ник Кеплер (Nick Kepler), вице-президент по разработке технологий логики AMD. — Иммерсионная литография позволит нам обеспечить более четкое проектирование и большую стабильность парамет

; так называемой литографии с использованием мягкого рентгеновского излучения (extreme ultraviolet, EUV). На смену привычным лазерам и линзовой оптике должны были прийти куда более экзотические

; так называемой литографии с использованием мягкого рентгеновского излучения (extreme ultraviolet, EUV). На смену привычным лазерам и линзовой оптике должны были прийти куда более экзотические

Аппарат EUV Micro Exposure Tool (MET) и установка пилотной производственной линии по нанесению EUV

Аппарат EUV Micro Exposure Tool (MET) и установка пилотной производственной линии по нанесению EUV

оявления оборудования следующего поколения, названного вакуумный ультрафиолет (Extreme Ultraviolet, EUV). Устройства EUV, позволяющие получать более тонкие проводники, чем технология 157

ивело к тому, что количество транзисторов на единице площади микросхемы удваивалось примерно каждые два года, однако к 2007 году, как утверждают специалисты, будет достигнут физический предел. Проект EUVL позволит развернуть как раз к этому году массовое серийное производство микроэлектронных устройств по новой технологии, использующей излучение с длиной волны в десять раз меньше, чем в сов

ивело к тому, что количество транзисторов на единице площади микросхемы удваивалось примерно каждые два года, однако к 2007 году, как утверждают специалисты, будет достигнут физический предел. Проект EUVL позволит развернуть как раз к этому году массовое серийное производство микроэлектронных устройств по новой технологии, использующей излучение с длиной волны в десять раз меньше, чем в сов

0 000 нанометров. Фотомаски предназначены для технологии с использованием "крайнего ультрафиолета" (EUV - Extreme UltraViolet) - фотолитографии с уменьшенной длиной световой волны. Появление но

0 000 нанометров. Фотомаски предназначены для технологии с использованием "крайнего ультрафиолета" (EUV - Extreme UltraViolet) - фотолитографии с уменьшенной длиной световой волны. Появление но

Extreme Ultra Violet LLC (EUV), коалиция национальных лабораторий США, таких как Lawrence Livermore National Laboratories и Sandia National Laboratories, а также крупнейших производителей чипов, таких как Intel, AMD и т

Германская Infineon Technologies стала первым европейским членом консорциума EUV LLC (Extreme Ultraviolet Limited Liability Corporation). Консорциум был основан в 1997 году компаниями Intel, Motorola и AMD и занимается совместными разработками в области применения преде